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集成电路无尘车间设计施工注意事项
2023-07-31 15:42:25 来源：青岛汇众达净化设备有限公司
集成电路无尘车间是为了实现半导体设备加工工艺要求的净化室，该无尘车间对自然环境洁净度等级、温度湿度、震动、ESD、AMC操纵等常有*须的规定。相对性于别的工业生产净化室，集成电路生产制造无尘车间有总面积大、清洁等級高、温度湿度线性度高等特性。
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