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汇众达光学微电子净化工程洁净生产区施工要点HZD
详细信息| 询价留言品牌:汇众达 加工定制:是 型号:HZD 空气净化技术:吸附技术 处理风量:1000 kw 功率:1000 净化率:99.99 % 噪音:60 db 功率:1000 光学微电子净化工程洁净生产区施工要点
光学微电子产业对生产环境的洁净度、温湿度及气流控制要求严,洁净生产区作为核心区域,其施工质量直接决定产品良率与设备运行稳定性。施工需秉持“精准控制、全程洁净、系统协同”原则,统筹各环节技术要点。
基层处理是施工基础。地面需采用激光整平技术实现3米范围内平整度误差≤2mm,同时进行密封固化处理,阻断粉尘析出。墙面基层优先选用防菌防潮石膏板,接缝处采用圆弧过渡设计,避免积尘,所有基层施工前须经过除尘、除油处理,确保后续涂层附着力。
空气净化系统安装是核心环节。风管制作采用镀锌钢板,接口处使用密封胶条双重密封,安装前需进行压力测试,确保漏风率≤0.5/。高效空气过滤器(HEPA)需在洁净环境下拆封安装,采用液槽密封方式,安装后通过尘埃粒子计数器检测,确保洁净度达到ISO 5级标准。气流组织采用垂直层流设计,风速控制在0.3-0.5m/s,避免气流紊乱导致的交叉污染。
机电系统与净化工程协同施工至关重要。管线布局需避开气流主导区域,电气管线采用镀锌钢管暗敷,灯具选用防尘防水的洁净型LED灯,与吊顶平齐安装。给排水管道采用不锈钢材质,接口采用焊接工艺,避免跑冒滴漏,所有管道安装后需进行钝化处理。
施工过程中的洁净管控不忽视。施工人员需经过风淋室进入作业区,穿戴无菌工作服、手套及防尘鞋套,施工工具需经酒精擦拭消毒。每日施工结束后采用真空吸尘器和无尘抹布进行清洁,每周进行一次总的洁净度检测。
竣工验收阶段需进行综合性能测试,包括洁净度、温湿度波动范围、静压差等指标,确保所有参数符合设计要求,为光学微电子产品生产提供稳定可靠的洁净环境。
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