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汇众达净化工程高纯水与高纯气用房装修核心技术HZD
详细信息| 询价留言加工定制:是 品牌:汇众达 型号:HZD 杀有害菌率:99.99 % 除尘率:99.99 % 废气净化率:99.99 % 净化级别:百万-十万级 适用面积:20-2000 ㎡ 杀霉菌率:99.99 % 负离子浓度:1000 个/m3 适用面积:20-2000 ㎡ 杀霉菌率:99.99 % 净化工程高纯水与高纯气用房装修核心技术
高纯水与高纯气用房是电子半导体、生物医药等高端制造领域的关键配套设施,其设计装修需以“防污染、保纯度、强安全”为核心,严格遵循《电子工业洁净厂房设计规范》,确保水质电阻率≥18.2MΩ·cm(25℃),气体纯度达99.999/以上,同时满足防爆、防泄漏等安全要求,为生产工艺提供稳定可靠的介质保障。
区域规划需实现功能分区与污染隔离。用房应划分储液区、制水设备区、配管区及用气点缓冲区,高纯水用房与高纯气用房保持≥5m间距,避免气体泄漏污染水质。地面采用防腐防滑环氧砂浆地坪,涂刷防静电涂层,墙面选用304不锈钢板,接缝采用激光焊接密封,吊顶采用防脱落洁净彩钢板,所有阴阳角做圆弧处理,减少积尘与藏污空间。门窗采用防爆钢化玻璃与不锈钢密闭门,气用房需增设泄压窗,泄压面积≥房间体积的0.05倍。
介质系统设计是核心技术关键。高纯水系统采用“预处理+反渗透+EDI”工艺,管路选用316L不锈钢,采用双卡套连接避免四体积,管道坡度≥2°确保排空车底,同时配备在线电阻率监测仪与紫外线杀菌装置。高纯气系统采用不锈钢BAJ管道,实施氦质谱检漏确保泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s,设置都立的气体汇流排与减压装置,配备紧急切断阀与泄漏报警系统,氢气等可燃气体用房需安装防爆排风系统,换气次数≥12次/h。
施工与验收需强化流程管控。管道安装前需进行脱脂、酸洗钝化处理,施工环境洁净度需达万级以上。电气系统采用防爆型灯具与开关,线缆穿管采用密封胶封堵。施工完成后需进行管道压力测试、水质指标检测及气体纯度分析,高纯水需通过TOC、颗粒度等专项检测,高纯气需经气相色谱分析达标。日常运维中,需定期更换过滤耗材、校准监测仪器,建立介质纯度追溯档案,确保系统长期稳定运行。
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